高真空度等級適用型傳感器［GN系列］
10-5Pa
高真空度等級！
僅用低排氣零件生產的高真空環境專用定位傳感器。
在真空蒸鍍裝置、濺鍍裝置內的晶片、掩膜定位用途中，廣泛為大型半導體生產設備制造商所采用。
機型一覽
| 代表型號名稱 | 動作形態 | 電線方向 | 下載 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GN-PT5M3A | A : NO | 直型 | 產品目錄 （PDF） |
2D CAD |
|||
| GN-PT5M3B | B : NC | ||||||
| GN-PT5M3A-R | A : NO | 直角(-R) | |||||
| GN-PT5M3B-R | B : NC | ||||||
主要規格
| 接點構造 | 接點型 |
|---|---|
| 動作形態 | A : NO /B：NC |
| 動作點的重復精度 | ON?OFF均為0.003mm（范圍）常溫使用時的數值 |
| 適用真空度／容許烘焙溫度 | 10-5Pa?。?20℃ |
| 預行程 | 無（請用信號的切換點調整傳感器的安裝位置） |
| 遲滯 | 0 |
| 機械壽命 | 300萬次 |
| 行程 | 1.5mm |
| 接觸力 | 0.5N |
| 接點額定值 | DC5V～DC24V 穩態電流10mA以下（沖擊電流20mA以下） |
應用
真空室
檢測有無半導體晶片
真空制膜裝置
玻璃基板的定位確認
太陽能發電（PV）真空裝置
玻璃基板的定位確認
FPD真空制膜裝置
玻璃基板的對準
FPD真空制膜裝置
掩膜托盤的就位檢測
FPD真空制膜裝置
載體的起動確認
